 |
■炭酸ガス栽培システム
■PSA装置
[酸素PSA]
・ 電炉・非鉄金属製錬・排水処理・パルプ漂白剤
[窒素PSA]
・ 熱処理・パージ・防爆用・酸化防止用
[水素PSA]
・ 半導体熱処理用
[一酸化炭素PSA]
・ 化学反応用・製鋼バブリング用
[二酸化炭素PSA]
・ ビール用
|
■膜分離装置
・ 酸素膜発生装置
・ 窒素膜発生装置
■電子工業向機器
・ 半導体製造用装置及び設備機器
・ 超高純度配管
・ 各種高純度ガス精製装置
(N2,O2,Ar,He,SiH4,Xe,Kr,NH3)
・ シリンダーボックス
・ 排ガス処理装置
・ ガス恒温装置
・ 超高純度圧力調整器
・ ガス中央監視硫酸精製システム
・ 排ガス回収再生システム |